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什么是MEMS?
MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种 微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。
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发表日期 标题 提问者 人气数/回复数 论坛
2012-05-17 谁为MEMS智能传感器带来下一波商机?
想有钱 25 / 1 自由讨论
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2012-05-16 美研究专案利用MEMS传感装置预防老人跌倒
Mike_GS 29 / 2 自由讨论
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2012-05-10 铁矿集团玩跨界?罕王挥金30亿要填补中国MEMS空白
海在冬天 108 / 5 自由讨论
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2012-05-03 2011年MEMS厂商Top 10 德州仪器保持全面领先
编辑部 29 / 1 自由讨论
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2012-04-24 ADI针对远场音频采集新推MEMS麦克风ADMP504
吴观炎 33 / 1 自由讨论
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2012-04-11 MEMS传感器打造革命性智能运动设备
chenpi 55 / 1 自由讨论
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2012-04-01 汽车安全新标准逐渐普及 MEMS厂商又爱又恨
编辑部 54 / 1 自由讨论
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2012-03-29 MEMS传感器融合,不该只是N+n
编辑部 53 / 1 自由讨论
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2012-02-12 MEMS传感器在先进移动应用中的作用
阿栋90 152 / 1 自由讨论
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2012-02-03 美研发可以饶舌音乐启动的植入式MEMS传感器
ZPZXYZ 121 / 1 自由讨论
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2012-02-01 MEMS技术将点燃新一波科技创新浪潮
伟宗 180 / 3 自由讨论
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2011-12-20 ADI战术级MEMS陀螺仪登场,性能匹敌光纤陀螺仪
Scott_QDSD 188 / 1 自由讨论
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2011-12-12 IMEC研发MEMS芯片打造无电池TPMS系统
编辑部 262 / 2 自由讨论
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2011-12-09 [7号参赛作品]《基于ADuC7026和MEMS的无线遥控智能探测避险小车》(by重庆大学/通信工程学院 胡恩伟/宋宁帅/蔡自伟)
( mems传感器,智能避障小车,远程遥控 )
梦圆08 1211 / 18 专题讨论
[ 第一届电子工程专辑大学生设计作品评选大赛 ]
2011-12-09 美研究将MEMS晶体管集成至CMOS电路,可取代独立晶振
眼镜架 237 / 4 自由讨论
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