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什么是MEMS?
MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种 微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。
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发表日期 标题 博客 阅读数 评论数
2012-04-26 美研发音乐声波启动MEMS传感器
( 音乐声波启动mems传感器 )
绝对新科技 0 0
2012-04-14 坚持做传感器一年的感触
( 传感器   mems   模拟设计   日本 )
ni_labview's BLOG 755 12
2012-01-16 为什么不能用MEMS陀螺仪寻北
( 光纤   工作   测量   mems陀螺仪 )
陀螺王子 437 4
2011-12-15 MEMS晶体管解决CMOS芯片的时序问题
( mems晶体管   cmos芯片   结场效应晶体管 )
绝对新科技 206 1
2011-08-11 频率控制产品制造商面临越来越大压力(译文)
( mems振荡器   sitime )
晶圆(北京) 251 1
2011-08-06 可编程振荡器Discera在中国设立代总理商-为颠覆传统石英晶体振荡器作出抉择
( 汽车电子   可编程振荡器   discera   mid方案   车载方案   晶振编程   硅振荡器   mems微机电 )
可编程振荡器Discera晶振代理MEMS微机电 340 4
2011-08-06 石英晶振会就此淘汰么?浅谈可编程振荡器的神奇力量
( 汽车电子   mems   可编程振荡器   硅振荡器   元件方案   晶振行业   微机电   石英晶振 )
可编程振荡器Discera晶振代理MEMS微机电 919 1
2011-07-13 SiTime公司推出业界第一个精度±0.5 PPM - MEMS VCXTCXO
晶圆(北京) 170 0
2011-07-13 2011-2013年,我国MEMS传感器市场将持续保持两位数增长水平
( 开关   连接器   继电器   欧姆龙中国   尖端器 )
欧姆龙电子部品技术达人 425 0
2011-06-20 石器时代终结了!可编程MEMS振荡器开创新纪元(一)
晶圆(北京) 294 0
2011-06-20 石器时代终结了!可编程MEMS振荡器开创新纪元(二)
晶圆(北京) 219 0
2011-06-20 石器时代终结了!可编程MEMS振荡器开创新纪元(三)
晶圆(北京) 215 0
2011-06-20 石器时代终结了!可编程MEMS振荡器开创新纪元(四)
晶圆(北京) 227 0
2011-06-15 SiTime MEMS振荡器技术设计大要(三)
晶圆(北京) 270 0
2011-06-15 SiTime MEMS振荡器技术设计大要(四)
晶圆(北京) 663 0
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